Вакуум чанглаш техникаси

Вакуумда буғланаётган ёки пуркалаётган модда оқимидан зарраларнинг йўналтирилган чўкиш методи орқали плёнкали қопламларни бошқариладиган тарзда тушириш учун мўлжалланган қурилма ва ускуна.ruschaвакуумная напылительная техника, Устройства и оборудование для управляемого нанесения пленочных покрытий в вакууме методомinglizchaatomic beam frequency standard