Вакуум чанглаш техникаси

Вакуумда буғланаётган ёки пуркалаётган модда оқимидан зарраларнинг йўналтирилган чўкиш методи орқали плёнкали қопламларни бошқариладиган тарзда тушириш учун мўлжалланган қурилма ва ускуна.русскийвакуумная напылительная техника, Устройства и оборудование для управляемого нанесения пленочных покрытий в вакууме методоманглийскийatomic beam frequency standard