Ионли легирлаш

Қаттиқ жисмга уни вакуумда аралашма модданинг ионлари билан бомбардимон қилиш орқали легирловчи аралашмаларни киритиш.русскийионное легирование, Введение легирующих примесей в твёрдое тело путём бомбардировки его в вакууме ионами примесного вещества.английскийionimplant doping