Ион-нур чўктириш

Тагликка паст энергиялар ионларининг фокусланган дастаси орқали металл, яримўтказгичлар ёки диэлектрикларнинг юпқа қатламини тушириш.русскийионно-лучевое насаждение, Способ нанесения на подложку тонких плёнок металла, полупроводников или диэлектриков с помощью сфокусированных пучков ионов низких энергийанглийскийion-beam deposition