Электрон резист ru - электронорезист en - electron-beam resist
русчаЭлектрон резист ru - электронорезист en - electron-beam resist
- Энергияси 5 дан 50 keV гача бўлган электронлар дастасининг таъсирига сезгир резист. Резист, чувствительный к воздействию пучка электронов с энергиями от 5 до 50 keV.