{"headword": "Ион-плазма билан тозалаш", "key": "ion plazma bilan tozalash", "entries": [{"dictionary": {"name": "Elektron texnika va radioelektronika lugʻati", "title": "Электрон техника ва радиоэлектроникага оид атамаларнинг ўзбекча-русча изоҳли луғати", "kind": "Терминологический", "imprint": "Аҳмедова, Ё.; Тулаганов, Ш.; Жабборов, Т. (2007). Электрон техника ва радиоэлектроникага оид атамаларнинг ўзбекча-русча изоҳли луғати. Tashkent: Билим.", "url": "https://dev.til.uz/lugatlar/elektron-texnika-va-radioelektronikaga-oid-atamalarning-ozbekcha-ruscha-izohli-lugati/", "page": "115"}, "pos": "", "labels": [], "variants": [], "etymology": "", "phraseology": "", "pronunciation": "", "senses": [{"order": 1, "text": "Паст температурали газ-разряд плазма компонентларидан ионлар, электронлар, қўзғалган атомлар ва эркин радикаллардан фойдаланган ҳолда, таглик сиртидан моддаларни йўқотиш усули.", "examples": []}], "translations": [], "cross_references": [], "extra": {"raw_word": "Ион-плазма билан тозалаш ru - ионно-плазменное травление en - ion-plazma etching", "raw_meaning": "Паст температурали газ-разряд плазма компонентларидан ионлар, электронлар, қўзғалган атомлар ва эркин радикаллардан фойдаланган ҳолда, таглик сиртидан моддаларни йўқотиш усули. Способ удаления вещества с поверхности подложки с использованием компонентов низкотемпературной газоразрядной плазмы ионов, электронов, возбужденных атомов и свободных радикалов"}}]}