Электрон резист

Энергияси 5 дан 50 keV гача бўлган электронлар дастасининг таъсирига сезгир резист.ruschaэлектронорезист, Резист, чувствительный к воздействию пучка электронов с энергиями от 5 до 50 keV.inglizchaelectron-beam resist