Электрон резист

Энергияси 5 дан 50 кев гача бўлган электронлар дастасининг таъсирига сезгир резист.русчаэлектронорезист, Резист, чувствительный к воздействию пучка электронов с энергиями от 5 до 50 keV.инглизчаelectron-beam resist