Электрон резист

Энергияси 5 дан 50 keV гача бўлган электронлар дастасининг таъсирига сезгир резист.русскийэлектронорезист, Резист, чувствительный к воздействию пучка электронов с энергиями от 5 до 50 keV.английскийelectron-beam resist